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高效過濾器的檢漏通常采用DOP法，采用PAO氣溶膠發(fā)生器，在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計檢測過濾器上下游氣溶膠的濃度來判定過濾器是否有泄露。使用氣溶膠發(fā)生器發(fā)塵（發(fā)煙）是因?yàn)楦咝н^濾器的上游塵埃粒子濃度較低，僅使用粒子計數(shù)器在不發(fā)塵的情況下很難發(fā)現(xiàn)有泄露，需要補(bǔ)充發(fā)塵才能比較容易發(fā)現(xiàn)泄露。

人工氣溶膠DOP存在已經(jīng)近40多年歷史，由于一段時間以來，因被懷疑對人有致癌作用，現(xiàn)常以PAO(polyaphaolefin聚a烯烴）等代替，但實(shí)驗(yàn)方法仍稱“DOP法”。FDA指出在進(jìn)行檢漏時環(huán)氧乙烷報警器，選用的氣溶膠應(yīng)符合一定的理化要求，不應(yīng)使用會引起微生物污染、造成微生物滋生的氣溶膠。PAO是一種無毒、無味的溶液，具有非致癌性，因此用PAO代替DOP用于高效過濾器的測試。

PAO氣溶膠發(fā)生器即產(chǎn)生煙霧的裝置可分為熱發(fā)型和冷發(fā)型兩種，DOP溶劑（或PAO溶劑）倒入發(fā)生器容器后塵埃粒子計數(shù)器，熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴塵埃粒子計數(shù)器，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的狀DOP進(jìn)入風(fēng)道，粒徑分布在0.1～0.3um。冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相DOP氣溶膠，最大分布粒徑在0.65um左右。在對過濾器進(jìn)行掃描檢漏時，經(jīng)常使用冷發(fā)型DOP法. 常用的檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是塵埃粒子計數(shù)器。高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計（以下簡稱光度計），是一種前散射線性光度計，它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是：當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號的對比塵埃粒子計數(shù)器，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度，因此其用途十分廣泛。而粒子計數(shù)器，它的測試值反映的是氣流中粒子個數(shù)的濃度，并規(guī)定粒徑范圍，其靈敏度較高，對所有塵源氣溶膠適用，選擇余地較大，但在高效過濾器檢漏中較少使用，兩種儀器測試結(jié)果難以定量對比。

氣溶膠發(fā)生器及氣溶膠光度計是用來檢測高效過濾器泄漏效率的。將氣溶膠發(fā)生器與氣溶膠光度計組合使用，過濾器的缺陷，如針孔，漏點(diǎn)，墊片泄漏，內(nèi)泄漏，或邊框泄漏均可以快速的被檢測出來，進(jìn)行及時糾正和采取相關(guān)措施甲苯檢測儀，從而保證高效過濾器的效率和超凈間的潔凈度等級。

DOP檢漏的材料、儀器有：發(fā)煙物質(zhì)（PAO溶劑）、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計。

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