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橢偏儀LSE-WS

橢偏儀LSE- ? LSE-毫米 ?橢圓儀LSE-WS 橢圓儀是一種高速薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)，每秒測(cè)量一個(gè)位置，包括載物臺(tái)行程！它使用先進(jìn)的 ?技術(shù)（曾榮獲 和R＆D 100＊佳新產(chǎn)品獎(jiǎng)），可在任何＊大的晶圓上提供無傾斜，無焦點(diǎn)，2D / 3D色彩厚度和索引圖像。該單元的優(yōu)雅設(shè)計(jì)提供了＊＊＊＊的易用性和瞬時(shí)測(cè)量功能，其成本遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)的生產(chǎn)控制計(jì)量系統(tǒng)。LSE-WS價(jià)格合理，是高精度掃描橢圓儀中的流行選擇。特征無故障，無移動(dòng)部件的高級(jí)?測(cè)量頭。測(cè)量極化的完整狀態(tài)，以提高準(zhǔn)確性。使用光譜精確的激光橢偏儀進(jìn)行準(zhǔn)確，穩(wěn)定的測(cè)量。＊快的薄膜測(cè)量?jī)x器。免傾斜，免聚焦，免提操作，適用于類似晶片。簡(jiǎn)單，緊湊的臺(tái)式儀器-價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力。高精度和高性能LSE-WS模型建立在經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的 ?橢偏儀系列產(chǎn)品之上，并在全球范圍內(nèi)廣泛使用。

從薄的柵氧化物到只有幾十埃厚的聚酰亞胺和光致抗蝕劑，蓋特納以提供精確，可靠的結(jié)果而聞名。LSE-WS模型設(shè)定了高性能標(biāo)準(zhǔn)，可以滿足當(dāng)今要求更高的計(jì)量應(yīng)用。諸如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑的單層膜可以被測(cè)量到亞埃精度?？梢詼y(cè)量?jī)蓪?，三層和四層薄膜，這些薄膜具有已知的底層，例如頂層氧化層和頂層氧化層，或者頂層的厚度和折射率。?軟件增強(qiáng)了易用性和理解力。出色的圖形測(cè)量結(jié)果顯示在計(jì)算機(jī)顯示屏上，可以發(fā)送到打印機(jī)。存儲(chǔ)在文本數(shù)據(jù)文件中的結(jié)果以2D等高線或3D地圖圖像顯示。圖像可以旋轉(zhuǎn)，傾斜，縮小或放大以立即查看和解釋。膜厚的二維輪廓圖膜厚的3D輪廓圖主屏幕易于使用的LSE-WS 橢圓儀操作簡(jiǎn)單。用戶與單個(gè)主程序屏幕交互，因此設(shè)置易于理解并且可以快速進(jìn)行測(cè)量?？梢暂p松訪問存儲(chǔ)的配方以掃描不同的膠片和圖案。只需單擊一下鼠標(biāo)，即可自動(dòng)掃描類似的晶圓。操作員可以選擇1、5、9或49點(diǎn)圓形測(cè)量，XY網(wǎng)格，直徑或具有多達(dá)1000個(gè)測(cè)量點(diǎn)的極性掃描，并設(shè)置晶片邊緣排除。高精度平臺(tái)高質(zhì)量步進(jìn)電機(jī)平臺(tái)可提供精確且可重復(fù)的位置。晶片通過真空保持在光學(xué)平臺(tái)上。平臺(tái)在編程的計(jì)算機(jī)控制下以快速而精確的步驟自動(dòng)移動(dòng)。

包括載物臺(tái)行程在內(nèi)的每點(diǎn)測(cè)量時(shí)間少于一秒。步進(jìn)精度優(yōu)于10微米，可輕松設(shè)置覆蓋區(qū)域和該區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)以進(jìn)行自動(dòng)掃描。速度和穩(wěn)定性LSE-WS橢偏儀通過以70°入射角反射來自樣品表面的偏振激光束進(jìn)行測(cè)量，并幾乎瞬時(shí)確定由樣品引起的偏振變化。由于?測(cè)量頭中沒有活動(dòng)部件，因此即使連續(xù)使用數(shù)月也可以進(jìn)行準(zhǔn)確且可重復(fù)的測(cè)量。通過使用穩(wěn)定的，光譜精確的，高信噪比的HeNe氣體激光光源二氧化碳報(bào)警器，可以進(jìn)一步提高測(cè)量精度。?技術(shù)的說明這種先進(jìn)的設(shè)備無需移動(dòng)部件，也不需要調(diào)制器，可以快速氧氣分析儀，準(zhǔn)確地確定測(cè)量光束的完整偏振狀態(tài)。上圖顯示了用于同時(shí)測(cè)量所有四個(gè)光參數(shù)的?光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個(gè)光電探測(cè)器表面，每個(gè)光電探測(cè)器表面均被部分光譜反射甲苯報(bào)警器，并且每個(gè)光電探測(cè)器表面均產(chǎn)生與光電探測(cè)器的分?jǐn)?shù)成比例的電信號(hào)。它吸收的輻射。第四光電探測(cè)器基本上完全吸收光氧氣分析儀，并檢測(cè)其余的光。這樣形成的四個(gè)輸出形成一個(gè)4x1信號(hào)矢量I，它與輸入斯托克斯矢量S線性相關(guān)，即I = AS。所以，小號(hào)通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣A必須是非奇異的，這要求前三個(gè)檢測(cè)器表面的入射平面都不同。

對(duì)于給定的四個(gè)檢測(cè)器布置，可以通過校準(zhǔn)來計(jì)算或確定A。技術(shù)優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)單，緊湊的?取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關(guān)，電動(dòng)機(jī)和檢測(cè)器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。另外，消除了偏振器臂上的波片機(jī)構(gòu)。這樣就可以實(shí)現(xiàn)快速，精確，穩(wěn)定的無運(yùn)動(dòng)部件橢偏儀。斯托克斯（）橢圓儀的一項(xiàng)出色功能是對(duì)由于樣品不平整而導(dǎo)致的角光束偏差的微小變化進(jìn)行補(bǔ)償。這種補(bǔ)償允許在整個(gè)晶片表面上進(jìn)行快速，連續(xù)掃描，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。當(dāng)掃描相似的晶片時(shí)，高速，無傾斜，無焦點(diǎn)，自動(dòng)操作是明顯的好處。上面顯示的可選LMS 系統(tǒng)可選的 LMS，用于通過15微米測(cè)量激光束直徑測(cè)量晶圓上的小區(qū)域。10微米載物臺(tái)定位和CCD攝像機(jī)可在PC上查看測(cè)量區(qū)域，從而允許使用先進(jìn)的?技術(shù)查看和測(cè)量小至15 X 45微米的區(qū)域。可選的小光點(diǎn)LSS光學(xué)系統(tǒng)將樣品上的標(biāo)準(zhǔn)1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米可選的L-SCAT太陽(yáng)能電池/散射樣品測(cè)量太陽(yáng)能電池行業(yè)中常見的粗糙散射樣品很難用大多數(shù)橢圓偏振儀精確測(cè)量，因?yàn)樾盘?hào)強(qiáng)度損失且測(cè)量光束去極化。

盡管有提高信號(hào)強(qiáng)度和捕獲更多散射光的方法，但是處理去極化要困難得多，理想情況下，需要確定極化的完整狀態(tài)，即測(cè)量4個(gè)斯托克斯參數(shù)s0，s1，s2，s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點(diǎn)自然是我們?偏振計(jì)用作橢圓儀分析儀。這使橢偏儀具有獨(dú)特的功能，可以立即將測(cè)量光束的偏振和非偏振分量分開，從而僅基于光的全部偏振分量就可以對(duì)薄膜厚度和折射率進(jìn)行高精度測(cè)量。L-SCAT散射選項(xiàng)包括對(duì)硬件的修改，可以捕獲更多來自粗糙，有紋理的表面的散射光，并且可以顯示偏振度P的程序。但是請(qǐng)記住，某些樣本可能太粗糙而散射太多的光用橢圓偏振法測(cè)量。可選的校準(zhǔn)套件L118-KIT使用4個(gè)可追溯晶圓加玻璃（-KIT）或4個(gè)NIST可追溯晶圓加玻璃（-KIT）重新校準(zhǔn)任何橢圓儀。中號(hào)OST用戶將不需要橢偏儀校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴(yán)格的公差和法規(guī)遵從用戶的＊嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造商。 ?橢偏儀LSE-WS規(guī)格對(duì)準(zhǔn)：傾斜度和工作臺(tái)高度通過計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)屏幕顯示。專有的傾斜和工作臺(tái)高度系統(tǒng)可校正普通的樣品傾斜和不平整度氧氣分析儀，而無需重新調(diào)整樣品或復(fù)雜，昂貴且緩慢的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。

入射角：70度測(cè)量方法：先進(jìn)的無需任何移動(dòng)部件和調(diào)制器，只需4個(gè)固定式硅探測(cè)器即可讀取完整的光束偏振，因此測(cè)量準(zhǔn)確且穩(wěn)定。測(cè)量時(shí)間：每點(diǎn)1秒，包括舞臺(tái)行程。測(cè)量激光：光譜精確，穩(wěn)定氧氣分析儀，持久的HeNe 激光器，光束直徑為1毫米（在70的晶片上為1x3毫米，典型壽命為3年以上。NIST使用類似的光源來生成校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)?？蛇x的具有15 x 45微米的光斑， CCD攝像機(jī)查看。對(duì)準(zhǔn)激光：670 nm激光二極管軟件：2D / 3D彩色圖形可在?下運(yùn)行樣品（晶圓）尺寸：直徑標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)。保持真空（需要5英寸汞柱）。階段：精密步進(jìn)電機(jī)在用戶編程的計(jì)算機(jī)控制下，帶有手動(dòng)按鈕超馳。線性和360°旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)覆蓋了樣品上的任何點(diǎn)。可傾斜的桌子允許在X和Y平面上校正高達(dá)1°的樣品不平整度。每點(diǎn)1秒以的尺寸映射任何尺寸的晶片。舞臺(tái)精度：10微米以內(nèi)數(shù)據(jù)輸出：2D / 3D彩色圖像的膠片厚度，折射率和位置，以用于監(jiān)視氧氣分析儀，文件或打印機(jī)。文本數(shù)據(jù)文件很容易導(dǎo)出到其他程序。電腦：隨附?10筆記本電腦膜厚范圍：基板或1、2或3個(gè)已知子層上的0-60,000埃精度和重復(fù)性：在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)低于亞埃。

折光率：在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)為±0.0005。功率：115V，100V，220V，240V（50/60 Hz）尺寸（LSE-WS）：高度：18英寸寬度：28英寸深度：20英寸凈重：85磅。運(yùn)輸重量：200磅。CE合規(guī)性：S系列橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標(biāo)志。CDRH合規(guī)性：蓋特納（）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽(yáng)燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。保證：1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運(yùn)輸費(fèi)用

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