自日本將韓國(guó)剔除白色名單后,韓國(guó)企業(yè)陸續(xù)采取應(yīng)對(duì)措施,三星電子開(kāi)始撤換部分日本氟化氫產(chǎn)品,并成功將替代品投入部分制程。
三星電子部分半導(dǎo)體制程中,已將日制氟化氫的替代品投入部分制程中。三星電子引進(jìn)大陸、臺(tái)灣的原料,并制成半導(dǎo)體制程用材料,上個(gè)月中旬開(kāi)始投入部分制程。多位業(yè)界人士透露,三星電子依照測(cè)試完成產(chǎn)品順序氟化氫,量產(chǎn)后投入制程。
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日本自7月加強(qiáng)對(duì)韓出口限制,氟化氫、氟化聚酰亞胺、光刻膠皆被列入出口管制類(lèi)別,導(dǎo)致三星電子未來(lái)引進(jìn)Stella Chemifa、森田化學(xué)等日本企業(yè)的產(chǎn)品恐受阻,因此三星電子攜手韓國(guó)企業(yè)SoulBrain、ENF TECHNOLOGY氟化氫,合力制造替代品。
過(guò)去這兩家企業(yè)主要從日本Stella Chemifa、森田化學(xué)進(jìn)口氟化氫,提煉蝕刻液體后,再交予三星電子,因此擁有一定的技術(shù)能力。
另一方面,SK海力士也正在加快腳步?!秶?guó)民日?qǐng)?bào)》指出,SK海力士取得相當(dāng)數(shù)量的替代材料。過(guò)去提供SK海力士氟化氫的韓國(guó)企業(yè)RAM TECHNOLOGY透露,已提供SK海力士數(shù)百?lài)嵉脑稀?/p>
外界預(yù)期,月底韓國(guó)制造完一批氟化氫,能夠替代日制產(chǎn)品,未來(lái)SoulBrain工廠擴(kuò)建完工后,將能提供更多氟化氫給三星電子、SK海力士。SoulBrain過(guò)去主要精煉Stella Chemifa的氟化氫,同時(shí)也引進(jìn)中國(guó)原料開(kāi)發(fā)相關(guān)技術(shù)油漆檢測(cè)儀,因此擁有制造高濃度氟化氫的技術(shù),產(chǎn)量與質(zhì)量也已獲得認(rèn)可。
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